制備工藝 氧氣—乙炔火焰法制備高純度球形硅微粉技術(shù)介紹 隨著微電子工業(yè)的迅速發(fā)展,作為大規(guī)模集成電路封裝領(lǐng)域的關(guān)鍵材料——高純度球形硅微粉的研究越來越受到關(guān)注。本研究分別以天然石英和稻殼為原料,結(jié)… 他山石 2021年11月18日 4068 0 0